فایل ورد کامل روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

این مقاله، ترجمه شده یک مقاله مرجع و معتبر انگلیسی می باشد که به صورت بسیار عالی توسط متخصصین این رشته ترجمه شده است و به صورت فایل ورد (microsoft word) ارائه می گردد

متن داخلی مقاله بسیار عالی، پر محتوا و قابل درک می باشد و شما از استفاده ی آن بسیار لذت خواهید برد. ما عالی بودن این مقاله را تضمین می کنیم

فایل ورد این مقاله بسیار خوب تایپ شده و قابل کپی و ویرایش می باشد و تنظیمات آن نیز به صورت عالی انجام شده است؛ به همراه فایل ورد این مقاله یک فایل پاور پوینت نیز به شما ارئه خواهد شد که دارای یک قالب بسیار زیبا و تنظیمات نمایشی متعدد می باشد

توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل می باشد و در فایل اصلی فایل ورد کامل روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

تعداد صفحات این فایل: ۱۷ صفحه

۴ نتیجه گیری
این کار نشان داد که اندازه گیری نیروهای چسبندگی سطحی دستگاه و مطالعات اثر چرخه ای، مستقیما تعاملات متقابل پلی سیلیکون و polySiC را مقایسه می کند. وابستگی اصطکاک استاتیک به منطقه آشکار تماس (که توسط گودی های ریزساخت تعریف می شوند)، برای هر دو سیستم مواد، کمیتی شده است. همانطور که مشاهده شد SiC پلی کریستالی، نیروی چسبندگی کمتری را از نصف آنهایی که با پلی سیلیکون بودند را نشان می دهد. این کار اسناد بیشتری در مورد تکامل خصوصیات مورفولوژیکی، الکتریکی، و شیمیایی سطوح پلی یلسیکون و سطوح polySiC را تحت تماس های چرخه ای برای بیش از ۱۰۰ بیلیون بار می باشد. روش بالا، اثرات مفید پوشش کاربید سیلیکونی نازک را بر روی پلی سیلیکون را نشان می دهد که باعث افزایش و بهبود قابلیت اطمینان تماسی می شود. بطور ویژه دیده شده است که پوشش SiC، مقدار ساییدگی چسبندگی و شکستگی ذره را سرکوب می کند: تغییرات کم برای مورفولوژی سطح SiC و مقاومت سایشی تحت نیروهای برخوردی نسبتا بالا برای بیش از ۱۰۰ بیلیون بار چرخه را نشان می دهد؛ در مقابل پلی سیلیکون، آثار ساییدگی را نشان می دهد و مشخصات سطحی دهانه مانند نشان دهنده ی شکستگی ذره از بارگذاری چرخه ای هستند. دستگاهها، انعطاف پذیریشان را برای شکست اصطکاک استاتیک نگه می دارند که به علت انرژی کم سطح در حضور پوشش SiC است و فشار مکانیکی را به دلیل تماس سخت سطوح را شتاب می دهد. دستگاههای سازگارتر، بطور موفقی با توجه به ماهیت انرژی کم سطح پوشش SiC خودشان، فعالانه بکار می افتند. این کار بیشتر نشان می دهد که اصلاح سطح ریزدستگاههای مبتنی بر سیلیکون از طریق پوشش نازک SiC پس از انتشار ریزساختارها، روش موثری برای سرکوب اصطکاک استاتیک و مکانیسم های شکست مرتبط به ساییدگی هستند درحالیکه از محدودیت ها در مراحل ابتدا تا انتهای ساخت اجتناب می کند.

عنوان انگلیسی:Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating~~en~~

۴ Conclusions

This work illustrates device-level measurements of adhesion forces and cyclic impact studies directly comparing polysilicon and polySiC interfaces. The dependence of stiction on apparent area of contact (as defined by microfabricated dimples) has been quanti- fied for both material systems. It was observed that polycrystalline SiC exhibit adhesion forces less than half those on polysilicon. This work further documents the evolution of morphological, electrical, and chemical properties of polysilicon and polySiC surfaces undergoing cyclic contacts for over 100 billion times. The above approach highlights the beneficial effect of a thin silicon carbide coating on polysilicon by enhancing contact reliability. More specifically, it was seen that SiC coating suppresses the rate of adhesive wear and grain fracture: little change to the SiC surface morphology and suggest wear resistance under relatively high impactforces for over 100 billion cycles; in contrast to polysilicon which exhibited wear debris and crater-like surface features indicative of grain fracture from cyclic loading. The devices remained resilient to failure from stiction due to low surface energy in the presence of SiC coating, and to accelerated mechanical stress due to hardened contacting surfaces. More compliant (longer) devices have been successfully actuated owing to low surface energy nature of SiC coating. This work further demonstrates that surface modification of silicon-based microdevices through thin SiC coating after microstructure release is an effective approach to suppress stiction and wear-related failure mechanisms while avoiding constraints on the front-end fabrication steps.

$$en!!