فایل ورد کامل  بررسی ویژگی های دینامیکی و شبیه سازی میکرومیرورهای پیچشی MEMS

توجه : به همراه فایل word این محصول فایل پاورپوینت (PowerPoint) و اسلاید های آن به صورت هدیه ارائه خواهد شد

این مقاله، ترجمه شده یک مقاله مرجع و معتبر انگلیسی می باشد که به صورت بسیار عالی توسط متخصصین این رشته ترجمه شده است و به صورت فایل ورد (microsoft word) ارائه می گردد

متن داخلی مقاله بسیار عالی، پر محتوا و قابل درک می باشد و شما از استفاده ی آن بسیار لذت خواهید برد. ما عالی بودن این مقاله را تضمین می کنیم

فایل ورد این مقاله بسیار خوب تایپ شده و قابل کپی و ویرایش می باشد و تنظیمات آن نیز به صورت عالی انجام شده است؛ به همراه فایل ورد این مقاله یک فایل پاور پوینت نیز به شما ارئه خواهد شد که دارای یک قالب بسیار زیبا و تنظیمات نمایشی متعدد می باشد

توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل می باشد و در فایل اصلی فایل ورد کامل  بررسی ویژگی های دینامیکی و شبیه سازی میکرومیرورهای پیچشی MEMS،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

تعداد صفحات این فایل: ۱۸ صفحه

۴نتیجه گیری
معادله متعادل نانو/میکرو آیینه بدون بعد بواسطه نیروی موئینگی  باتوجه به نیروی کازیمیر حاصل شد. بستگی زاویه نوسانی بحرانی بر اعداد ناپایدار تعریف شده در مقاله ارزیابی شد. نتایج نشان داد که اهمال در اثر کازیمیر روی استاتیک متعادل نانو/میکروآیینه ها تحت نیروی موئینگی ممکن است منجر به اشتباه چشمگیری در پیشبینی پایداری محدود آیینه و میتواند منجر به طرح ناپایدار شود.
مشاهده شده بود که زاویه چرخش آیینه مطابق نیروی موئینگی بستگی به اثر کازیمیر اعمال شده به آیینه دارد. برای پیش بینی تحلیلی، زاویه چرخش و پایداری محدود نانو/میکرو آیینه ها مورد استفاده قرار گرفت. ترتیب ششم اغتشاشات تقریبی می تواند بدرستی زاویه چرخش آیینه را مطابق بارهای موئینگی و کازیمیر برآورد کند. نتایج ارائه شده در این مقاله برای طرح ثابت و تشکیل نانو/میکروآیینه ها با استفاده از فرآیند ایجاد نم که در شکاف بین آیینه ها و در زیرلایه ها کمتر از چند میکرومتر است، مورد استفاده قرار گرفت و در نتیجه  هر دو نیروهای موئینگی و کازیمیر تاثیر قابل توجهی روی سیستم خواهند داشت.   

عنوان انگلیسی: A study of dynamic characteristics and simulation of MEMS torsional micromirrors~~en~~

۴ CONCLUSION

The dimensionless equilibrium equation of the nano=micromirror under capillaryforce was obtained considering Casimir force. The dependency of the criticalFigure 8. Estimation of nano=micromirror’s rotation angle using HPM (color figure available online).tilting angle on the instability numbers defined in the article was investigated.Results show that neglecting the Casimir effect on the static equilibrium of nano=micromirrors under capillary force may lead to considerable error in predictingstability limits of the mirror and can lead to an unstable design.It was observed that rotation angle of the mirror due to capillary force highlydepends on the Casimir effect applied to the mirror. HPM was utilized to analyticallypredict the rotation angle and stability limits of the nano=micromirrors. Itwas found that a sixth order perturbation approximation can accurately estimatethe rotation angle of the mirror due to capillary and Casimir loading. The presentedresults in this article can be used for stable design and fabrication of nano=micromirrorsusing wet etching process where the gap between the mirror and the underneathsubstrate is less than a few micrometers and as a result, both capillary and Casimirforces have significant effects on the system.

$$en!!